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Automatisierte Beladungseinheit für Siliziumwafer mit Strukturdämpfern von ACE gesichert

28 September 2018 ACE-Press
Presse

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Für die Herstellung von Siliziumwafern, die als Ausgangsprodukte für Halbleiterbauelemente wie z. B. Solarzellen dienen, sind spezielle Öfen nötig. In diesen Öfen durchlaufen die Wafer bei der Herstellung unterschiedliche Prozesse. Ein optimaler Vorgang setzt dabei eine ideale Positionierung voraus. Die Beladung der Öfen nimmt bei Temperaturen, die weit über 1.000 °C liegen können, kein „Pizzabäcker“ vor, sondern eine vollautomatisierte, per Software gesteuerte Einheit. Damit Fertigungsfehler, Ausschussware und Schäden an der Gesamtkonstruktion ausgeschlossen werden, sind Linearmodule und Drehtisch der Beladungseinheit zusätzlich durch Maschinenelemente von ACE gesichert.

Beladungseinheit für die Fertigung von Wafern für die Produktion von Solarzellen

ACE TUBUS LISCO Beladungseinheit - Totale

Konstruktion der LISCO GmbH mit Drehtisch, Zahnriemen- und Spindelantrieben

ACE TUBUS LISCO Beladungseinheit -Detail 1

Von LISCO für die Sicherung der Konstruktion integrierte ACE TUBUS Strukturdämpfer

ACE TUBUS LISCO Beladungseinheit -Detail 2

In der ca. 600 kg wiegenden Konstruktion kommen radial dämpfende TUBUS vom Typ TR97-35HD in der Schwerlastversion mit einer maximalen Energieaufnahme für den Notstopp von 3.949 Nm/Hub und maximalem Hub von 35 mm zum Einsatz

TUBUS Typ TR97-35HD Schwerlastversion

TUBUS aus der TR-HD-Familie werden mit zwei Schrauben geliefert und sind horizontal wie vertikal einfach und schnell zu befestigen. Auf Wunsch passt ACE den Bohrungsabstand an

TUBUS TR-HD Totale und Schnitt

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